現在のところ、レーザー洗浄機の構造について統一された基準はありません。実際の洗浄方法、基板の種類や汚れ、洗浄要件の影響などの要因に応じて決定する必要があります。ただし、一部の基本構造では、それらはほぼ同じです。 、主にレーザー、モバイルプラットフォーム、リアルタイム監視システム、半自動制御オペレーティングシステム、その他の補助システムを含みます。
これらの吸着力は重力よりもはるかに大きく（数桁ある）、粒子径dに関連しています。吸着力は、粒子半径の減少に伴って遅い線形減衰傾向を示し、粒子の質量mは、ニュートン 0010010 ＃39の法則F=maによると、直径の3乗に比例します。粒子サイズが小さくなると、吸着力による加速度が急激に増加します。したがって、粒子サイズが小さいほど、粒子を除去するために必要な加速度が大きくなります。これが、従来の洗浄技術では小径の物体を取り除くことが難しい理由です。
オブジェクトの表面にあるアタッチメントの構成と構造は複雑であるため、レーザーが相互作用するメカニズムも異なります。これを説明するために最も一般的に使用される理論モデルは次のとおりです。
1。光のガス化/光分解
レーザークリーニングマシンによって生成されたレーザー 0010010 ＃39; sのレーザーは、光学システムによって集光され、高度なエネルギー集中を実現できます。集束されたレーザービームは、焦点の近くで数千度または数万度の高温を生成する可能性があり、それにより、物体の表面上の付着物を即座に蒸発させたり、分解したりする可能性があります。
2。軽い剥がれ
対象物の表面の付着は、レーザーの作用により熱膨張します。物体の表面の付着物の膨張力が、それと基板の間の吸着力よりも大きい場合、物体の表面の付着物は、物体の表面から外れる。
3。軽い振動
レーザークリーニングマシンは、より高い周波数と出力のパルスレーザーを使用して、対象物の表面に衝撃を与えます。物体の表面に超音波が発生します。超音波は衝撃中に下部の硬い表面に戻り、入射音波を干渉します。これにより、高エネルギーの共鳴波が発生し、ほこりの小さな破裂が発生します。 、押しつぶし、基板の表面から取り外します。この方法は、オブジェクトと表面アタッチメントの間のレーザービームの吸収係数に大きな違いがない場合、または表面アタッチメントが加熱されている場合に有毒物質を生成する場合に使用できます。
