PDMS膜とは何ですか？
PDMS膜は、ポリジメチルシロキサン薄膜を指します。
PDMS膜は一般に柔らかく透明です。化学的不活性と優れた機械的特性により、現在、マイクロ流体、マイクロ-センサー、柔軟な電子デバイス、細胞培養、ろ過などのフィールドで広く使用されています。
PDMS膜処理の課題？
高い- Quality Micro -細孔またはPDMS膜の切断操作を達成することは、特定の困難を提示します。
これは、PDMS膜が本質的に柔らかく、機械的処理または熱応力が変形、溶けたエッジ、または材料のカールしたエッジを引き起こす可能性があるためです。
さらに、PDMSにはある程度の弾力性があり、機械的処理または従来のレーザー処理により寸法の収縮または拡張が発生する可能性があり、高精度と一貫性を確保することが困難になります。
特に、10 {-50μmまたは炭素を含まない切断を下回るマイクロ-穴を扱う場合、PDMS膜の処理難易度がさらに大きくなります。
PDMS膜のマイクロ/ナノ処理の課題に対処する方法は？
フェムト秒レーザーは、非-「コールド処理」メソッドに連絡し、PDMS膜処理に大きな利点を提供し、強くお勧めします。
（1）溶けたエッジと変形を回避する最小限の熱衝撃：フェムト秒レーザーは、通常数十から数百のフェムト秒まで範囲で、非常に短いパルス幅があります。ウルトラ-短いパルス期間は、処理中に非常に小さな熱衝撃ゾーンになり、それによりPDMS膜の熱損傷と変形を防ぎ、表面の品質と機械的特性を維持します。
（2）高処理精度、マイクロ-スケール処理の有効化：フェムト秒レーザーは非常に高い空間分解能と微細な処理機能を持ち、マイクロ-マイクロ-スケール処理を有効にします。たとえば、6μmマイクロ-穴を処理する場合、±1μm以内に穴の直径を制御することで一貫性を確保できます。
（3）非-連絡先処理、ストレスの回避-誘導収縮または拡張：フェムト秒レーザーは、機械的応力なしで非-コンタクト処理を使用し、外力-誘発された変化または応力のリスクを排除します。
