皆さんご存知のとおり、EUV リソグラフィーを製造できるメーカーは世界でただ 1 社、それがオランダ ASML です。
そしてなぜ世界で唯一なのかというと、ASMLにはドイツの光学会社Zeiss（ツァイス）、次に米国のCymer、そしてドイツのTom Fast Group（TRUMPF）など、多くの主要メーカーが束ねられるからです。 ） 等々。
ASMLは、投資、買収、株式保有、研究センターの設立などを通じてこれらのメーカーを自社の戦車に結びつけており、これらのメーカーはおそらく世界でこれらの製品を生産できる唯一のメーカーであるため、最終的にはASMLだけがEUVリソグラフィーを生産できることになります。世界中。
しかし、最近、ASMLの主要なサプライチェーンは工場を建設するために中国の深センに向かい、深センの子会社が宝安中国・ドイツ（ヨーロッパ）産業実証園に定住した。
このメーカーはドイツの Tom Fast Group (TRUMPF) で、ASML の EUV リソグラフィー、世界で唯一のレーザー光源サプライヤーです。
EUV リソグラフィーにおける TRUMPF 製品はどの程度重要ですか? まず、EUVリソグラフィーの原理を説明しますと、理解できると思います。
EUVリソグラフィーの原理を簡単に言うと、EUV紫外光源系、対物レンズ系、テーブル系の3つの主要なシステムが中心となります。
具体的なプロセスは、レーザーを使用して 13.5 nm の波長の極端紫外光を励起し、補正後に制御された光ビームを形成し、この光ビームがフォトマスク テーブルに投影され、次に対物レンズを通して投影されます。ミラーを露光テーブルに移し、最後にフォトレジストを塗布したシリコンウェハ上に回路をエッチングします。
EUV UV 光源システムの 1 つは、スズ (Sn) 金属液滴に出力 30 kW の CO2 レーザーを照射し、蒸発させてプラズマ化し、最終的に波長 13.5 nm の EUV 光を取得することで得られます。
この 30 kW CO2 レーザーは、世界で唯一の TRUMPF によって提供されています。
この CO2 レーザーを過小評価しないでください。部品数は 457,329 個、システム内のケーブル長は最大 7,322 メートル、重量は 17,090 kg あり、これは EUV リソグラフィーの最も重要なコアコンポーネントの 1 つです。
現在、TRUMPFは工場を建設するために中国に駆けつけたが、その意図は明らかである。つまり、中国のレーザー市場について楽観的であり、さらに長期的には中国のリソグラフィー市場について楽観的であり、将来は中国と協力してEUVリソグラフィーを構築する可能性がある。 。
実際、KMWE やその他のメーカーが中国に工場を建設する前に、すでに複数の ASML サプライ チェーンが中国に工場を建設しています。
現在の傾向によれば、中国のリソグラフィー技術が大きな進歩を遂げるのもそう遠くはないと楽観的に予想でき、EUV リソグラフィーの生産量も期待できると思いますか。
