半導体分野
半導体ウエハと光学基板の洗浄は、同一工程の加工において、半導体ウエハと光学基板、すなわち素材を切断、研削等の形で所望の形状に加工することをいう。 このプロセスでは粒子状汚染物質が発生しますが、これは除去が難しく、汚染が再発するという深刻な問題を引き起こします。 半導体ウェーハ表面の汚染物質はプリント基板の品質に影響を与え、ひいては半導体チップの寿命を縮めます。 光学基板の表面の汚染物質は、光学部品やコーティングの品質に影響を与え、エネルギーの不均一性や耐用年数の短縮につながる可能性があります。 レーザー乾式洗浄は基板表面に損傷を与えやすいため、この洗浄方法は半導体ウェーハや光学基板の洗浄にはあまり使用されず、レーザー湿式洗浄とレーザープラズマ衝撃波洗浄がこの分野でより成功しています。 Xu Chuanyiら。 超平滑な光学基板の表面に誘電体膜としてミクロンレベルの特殊な磁性塗料を堆積し、その後パルスレーザー洗浄を使用することを研究しました。洗浄効果はより優れていますが、粒子状物質の単位面積当たりの不純物粒子は多くなります。不純物粒子のサイズと領域の被覆率は大幅に減少しましたが、この方法は超平滑な光学基板の表面上のミクロンレベルの汚染粒子を洗浄するのに効果的です。 Ping Zhang 氏は、作動距離におけるレーザー プラズマ洗浄技術と、さまざまな粒子サイズの汚染物質粒子の洗浄効果に関するレーザー エネルギーを研究しました。テスト結果は、ポリスチレン粒子上の導電性ガラス基板の場合、240 mJ のレーザーのエネルギーが最適であることを示しています。作動距離は 1.90 mm で、クリーンアップするためのレーザーエネルギーの増加に伴い、増加の効果は明らかであり、汚染物質の大きな粒子のクリーンアップが容易になります。
金属材料分野
金属材料の表面洗浄 金属材料の表面洗浄は、半導体ウェーハや光学基板の洗浄と比較すると、汚染物質の洗浄はマクロなカテゴリーに属します。 金属材料の表面の汚染物質は主に酸化層（腐食層）、塗料、コーティング、その他の付着物などであり、汚染物質の種類に応じて有機汚染物質（塗料、コーティングなど）と無機汚染物質（など）に分けられます。腐食層として）。 金属材料の表面汚染物質の洗浄は、主に後続の加工や使用要件を満たすために行われます。たとえば、チタン合金部品の溶接前に材料の表面に約10μmの厚さの酸化層を除去する必要がある場合や、航空機のオーバーホールで表面の元の塗装コーティングを除去する必要がある場合などです。再スプレーを容易にするために、ゴムタイヤ金型を定期的に清掃して、ゴム粒子の表面を確実に洗浄し、タイヤの品質と寿命を保証する表面の清浄度を確保する必要があります。金型。 金属材料の損傷閾値は、表面汚染物質のレーザー洗浄の閾値よりも高く、適切なパワーのレーザーを選択することにより、一部の分野では成熟したアプリケーションでより良い洗浄結果を達成できます。 王麗華ら。 は、アルミニウム合金およびチタン合金の表面酸化処理におけるレーザー洗浄技術の応用を研究し、その結果、5.1 J/cm2 のレーザーのエネルギー密度を使用して、A{ の酸化物層の表面を洗浄できることが示されました。 {5}}H アルミニウム合金の基板の良好な品質を維持すると同時に、平均出力 100 W のパルス レーザー スキャン モードを使用すると、チタン合金の酸化層の表面を効果的に洗浄し、基板の状態を改善できます。材料の表面の硬さ。 100 Wのパルスレーザーの平均出力は、スキャンによってチタン合金の表面の酸化物層を効果的に洗浄し、材料の表面硬度を向上させることができます。 国内のRuike Laser、Da Nu Laser、Shenzhen Chuangxinなどの企業が開発したレーザー洗浄装置は、タイヤやその他のゴム金型、金属腐食層、部品や部品の表面油の洗浄に広く使用されています。
文化財分野
文化財や紙の表面洗浄 金属工芸品や石工芸品など。その表面には長い歴史があるため、汚れ、インク、その他の汚染物質が現れます。文化財を修復するには、これらの汚染物質を除去する必要があります。 絵画、書道、その他の紙の表面を不適切に保管すると、カビが生えたり、プラークが形成されたりします。これらのプラークは、紙の本来の外観、特に紙の文化的または歴史的価値に重大な影響を及ぼし、その評価と保護にも影響を及ぼします。 。 趙英ら。 ライスペーパー上のカビのプラークの紫外線レーザー洗浄の実現可能性を研究しました。テスト結果は、エネルギー密度3.2 J/mm2のレーザースキャンを1回使用すると薄いプラークを除去でき、2回スキャンするときれいなプラークが得られることを示しています。しかし、レーザーエネルギーの使用が高すぎると、ライスペーパーと同時にプラークを除去する際に損傷してしまいます。 張暁通ら。 レーザー垂直照射液膜法を用いて金青銅器の修復に成功しました。 Zhang Lichengら。 漢時代に描かれた女性のテラコッタ像の修復にレーザー洗浄技術を使用しました。 ユアンら。 は、石文化遺物の洗浄に適用されたレーザー洗浄技術の効果を研究し、洗浄前後の砂岩本体の損傷とインク洗浄、煙汚染洗浄、および塗料汚染洗浄の効果をそれぞれ比較しました。
